FCS系列氣體流量控制器是基于MCS51系列單片機配合外圍控制部件,通過對三路或四路氣體質(zhì)量流量計的控制,實現(xiàn)鍍膜機充氣系統(tǒng)全自動運行。本機可由用戶編程設(shè)定,對反應(yīng)氣體隨鍍膜時間變化進行增減量控制。同時本機支持RS485或RS232通訊控制,支持開關(guān)量外部控制,也可連接上位控制機實現(xiàn)遠程控制。
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